本发明涉及制造在低于或等于1600°c的温度也可以制成烧结体的氮 化铝粉末，获得密度和热传导率高、可以适用于基板材料的氮化铝烧 结体。使用如图1所示气相反应装置，反应器⑵由加热带⑴进行加 热并保持在300?50(TC，一边由流童调节计(3)调节，一边通过供给 管(4)向反应器(2)导入氨气，同时，一边通过流景调节计(5)调节， 一边通过供应管(6)导入含有机铝化合物的氮气。从而得到氮化铝粉 末。将其在还原性气体氛围和/或惰性气体氛围中在1100?1500摄氏度进行热处理，对所得到氮化铝凝集粉末再经机械处理，成为比表面积值 大于等于30m/g、且平均粒子粒径与比表面积换算的粒子粒径的比率 小于等于10的氮化铝粉末。